中芯国际77亿购买光刻机，具体是和谁合作的?

　　根据3月3日最新消息，中芯国际发布了一则公告，内容显示中芯国际已经与ASML公司签下大笔采购订单，这次中芯国际将斥资12亿美元，约合人民币77亿购买ASML产品。

　　中芯国际在公告中表示：“于2021年2月1日，本公司与阿斯麦上海签订了经修订和重述的阿斯麦批量采购协议，据此，阿斯麦批量采购协议的期限从原来的2018年1月1日至2020年12月31日延长至从2018年1月1日至2021年12月31日。”

　　阿斯麦是ASML Holding N.V。的附属公司之一。荷兰公司ASML是全球最大的光刻机制造商，光刻机是芯片制造所需的关键设备。ASML在45nm以下制程的高端光刻机市场中占有85%的份额;在EUV(极紫外)光刻机领域则处于绝对垄断地位，市场占有率100%。

　　值得注意的是，对于这项12亿美元订单包含的产品、机器型号，公司尚未公布。而不同类型的设备，对于中芯国际研发生产能力的推进有很大不同，究竟是能解决高端芯片、还是中低端芯片的扩产，尚未可知。

　　除了期限的延长之外，中芯国际在公告中披露了此前的购买金额。中芯国际根据批量采购协议，已于2020年3月16日至2021年3月2日的12个月期间，就购买用于生产晶圆的阿斯麦产品与阿斯麦集团签订购买单，总代价约为12亿美元(约77亿人民币)。

　　光刻机的作用是什么?

　　光刻机是芯片制造的核心设备之一，按照用途可以分为好几种：有用于生产芯片的光刻机;有用于封装的光刻机;还有用于LED制造领域的投影光刻机。

　　用于生产芯片的光刻机是中国在半导体设备制造上最大的短板，国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口，本次厦门企业从荷兰进口的光刻机就是用于芯片生产的设备。

　　在加工芯片的过程中，光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段，将光束透射过画着线路图的掩模，经物镜补偿各种光学误差，将线路图成比例缩小后映射到硅片上，然后使用化学方法显影，得到刻在硅片上的电路图。

　　一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、激光刻蚀等工序。经过一次光刻的芯片可以继续涂胶、曝光。越复杂的芯片，线路图的层数越多，也需要更精密的曝光控制过程。

　　中芯国际77亿购买光刻机要干什么?

　　此次签订的购买单，中芯国际几乎可以买到其他所有型号的光刻机，包括DUV(深紫外)光刻机。近期接受机构调研时，中芯国际联合首席执行官赵海军表示，目前公司依然是满载运营，预计今年第一季度营收会回到10亿美元以上。此前，中芯国际预计，2021年全年收入目标为中到高个位数成长。

　　当前中芯国际正布局先进和传统制程两类芯片，都需要光刻机的支撑。阿斯麦的EUV(极紫外光刻技术)，能推进中芯国际7nm/5nm芯片，而其DUV(深紫外线光科技术)则支撑着中芯国际传统产线的建造和扩产，例如公司在今年最被市场看好的8英寸芯片产能，就来自传统产线。

　　根据公开材料，目前EUV设备正受国际协议限制形成了出口管制，而在芯片制造厂中运用广泛的DUV设备，是不受国际协议限制的。

　　其中，美国部分供应商中A公司已经拿到相关许可证，L公司和K公司还在等待结果，判断后边也会陆续拿到许可证，许可证以10nm为分界点，14nm及以上工艺制程相关产品获得许可，10nm及以下节点未拿到许可证。

　　3月2日，有投资者在互动平台“上证e互动”向中芯国际求证上述事项。

　　中芯国际近期有何大动作?

　　3月1日，有媒体报道，为中芯国际提供高制程(14nm及以上)工艺部分产品所需设备的美国设备商，已获美许可证，而该批次与中芯国际部分成熟制程工艺设备供应商为同次获批。

　　当日兴业证券(601377,股吧)研究所电子团队(下称“兴证电子”)也发布报告对上述消息进行了确认，表示经其产业链验证，中芯国际部分供应商已经拿到相关许可证。

　　该公司在回应中并未直接证实此事，仅表示：“公司会尽最大努力，持续携手全球产业链伙伴，保证公司生产连续性及扩产规划不受影响。虽然不确定性依然存在，但我们始终坚持依法合规经营，有信心保证公司短期内生产经营不受重大不利影响。”

　　根据上周消息，中芯国际还联合国家集成电路产业投资基金以及另一家投资公司成立了中芯京城集成电路制造公司，计划投资500亿建设晶圆厂，预计2024年即可完工，预计产能可达10万片/月。

　　此外，截至目前中芯国际在全国范围内已经建有8座晶圆厂，其中300mm晶圆厂5个，200mm晶圆厂3个。

　　当然更重要的是，根据中芯国际联席CEO梁孟松博士的透露，中芯国际在芯片制造工艺上已经攻克到3nm，只要EUV光刻机就位就能完成3nm芯片量产。

　　光刻机中国能造吗?

　　中国不是不能造光刻机，只是不能造高端光刻机，上海微电子已经能造90nm制程光刻机，在2021到2022年可能即将交付28nm制程的光刻机，但这也和业界最先进的荷兰5nm光刻机有非常大差距，现在最高端的手机已经用上了5nm的SOC芯片，28nm不能满足市场竞争要求。

　　光刻机是作为一个商业竞争和关乎国家经济安全的产品，它不但要做出来还要足够好，半导体产业是一个赢家通吃的行业。在激烈竞争的手机市场中，如果竞争对手旗舰机型采用了最先进的5nm芯片，你却用14nm，你就会失去市场。Intel的CPU已经是11代的i7了，那用i3的电脑是不可能占据高端市场。

　　所以光刻机要达到业界领先才有竞争力，那就是说技术迭代周期远远短于原子弹，因此其发展难度非常高。它是横跨多学科，产业的顶级理论技术，工艺的半导体皇冠上的明珠，一台光刻机是有十万个部件组成，融合数学、化学、精密光学、流体力学、精密机械、自动化控制、软件工程、图像识别、电子电路等领域的顶尖技术而成的产物，它依赖于各个学科的进步，只要一个学科有瓶颈就造不出，中国要发展到5nm可能要十年。

　　写在最后

　　简单捋一下时间线，3月1日，中芯国际传出解禁的消息;3月2日，中芯国际作出回应，称将“尽最大努力”保证规划生产;3月3日，中芯国际发布公告，豪掷77亿购买ASML产品。

　　毫无疑问的是，这对于中芯国际而言是一个大好消息，同时对于中国半导体产业而言也是一个大好消息。

　　但是在高兴之余，我们也不要忘了，在全球化的大背景下，向上游供应链采购原材料和设备，这本来就是一种再正常不过的商业行为，但是为什么如今会需要得到他人同意?并且还要因为得到解禁而“高兴”、“欢呼”?

　　这一点值得所有中国企业深思。

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